作者：王文襄,乔景庄,刘秀娥 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第Z1期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987Z11520 DOC编号：DOCCGQJ1987Z11529 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 硅单晶的压阻效应及有关的工艺技术应用于压力传感器的制造，使压阻式压力传感器以其精度高、动态特性好、灵敏度高、可靠性好、尺寸小、价格低等一系列优点、逐步占据了中、低量程压力测量传感器市场的支配地位。然而，由于设计与制作上的某些原因，高压和超高压领域仍然是应变式和压电式传感器的天下。本

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