作者：王振中 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1986年第06期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1986060130 DOC编号：DOCYBJS1986060139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、引言在许多新的领域里，微机控制的仪器仪表和系统被广泛应用。这些系统一般由一个或多个传感器构成，传感器的低电平输出信号先要通过信号调节电路放大，再传送到远距离的微机去处理或控制。硅传感器技术的发展，已能将传感器和信号调节电路合并在一起，成为一个集成传感器。硅压阻式集成压力传感器由Bicking设计成功。这种传感器把敏感元件、温度补偿、信号放大和调整功能都集成在同一芯片

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