作者：高峰 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1987年第05期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1987050120 DOC编号：DOCYBJS1987050129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 在传感器制作中，微细加工技术是一种越来越重要的技术，而且具有巨大的潜力。 硅片的出现，表明我们已经具有比以前更好的数据处理硬件。用非常精确的化学处理工艺来加工芯片的方法也可应用到其它领域。采用这种工艺可在衬底上加工出非常细

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