作者：D.L.Polla,王大春 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》1987年第06期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG1987060100 DOC编号：DOCYDSG1987060109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍一种能同时测量物理量和化学量的多功能传感器集成片.该多功能片的尺寸为8&#215；9mm，它包括用于信号调节、阵列存取和输出缓冲的一般的MOS器件以及如下的片上传感器：气体流量传感量，红外敏感阵列，化学反应传感器，悬臂梁加速度计，SAW蒸汽传感器，触觉传感器阵列和红外电荷耦合器成象器.该片的多种敏感功能是利用ZnO薄膜的热电和压电效应，该片是采用一般的3μm Si NMOS工艺并结合Si的微机械加工技术制成的.本文着重介绍这些兼容性制造技术和传感器的特性。

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