作者:毛静英,周群,胡明,许谷华 单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版:《传感器与微系统》1987年第Z1期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFCGQJ1987Z11160 DOC编号:DOCCGQJ1987Z11169 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 本文阐述检测NO_x(检测形式为NO_2)的以SnO_2膜的敏感材料集成化的化学传感器。经测试表明,该传感器在NO_2浓度为1~1000ppm范围内,响应灵敏度随浓度呈指数关系变化,且灵敏度高,检测下限可小于1ppm。除烟尘外,其它如CO_2、CO、NH_3、HCl、SO_2等气体产生的交叉效应小,它们的浓度比NO_2的

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