《Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用》PDF+DOC
作者:骆如枋,严荣华,陆玉萍
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1987年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1987030120
DOC编号:DOCCGQJ1987030129
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一、Si—MOS湿度传感器及其二次仪表 Si—MOS湿度传感器系上海市“六五”攻关项目,由中科院上海冶金所研制成功。该传感器在本质上是一个以低阻单晶硅衬底和多孔Au膜为上、下电极,以多孔Al_2O_3为湿敏介质的MOS电容结构
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