作者：翟秀贞 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1989年第01期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1989010160 DOC编号：DOCXDJL1989010169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、质量流量计及传感器1.气体质量流量计及传感器(TF/TC 系)近年来，气体的质量流量测量和控制作为能用电气信号处理的轻便传感器，在半导体制造业中有了明显的发展。另一方面，在一般的领域中也开发了高压和防爆型传感器使质量流量的测量范围扩大了。这种传感器以图1所示的边界层流量计原

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