作者：李华 单位：北京京仪仪器仪表研究总院有限公司 出版：《仪器仪表与分析监测》1989年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYQYB1989010070 DOC编号：DOCYQYB1989010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、前言由于硅适于制造各种传感器，这导致测量各种物理参数和化学参数的集成传感器发展很快。利用硅制造传感器的主要动机是硅器件可以进行批量生产，并且可以把传感器与信号处理电路集成在同一芯片，这就发展出所谓“智能传感器”。由于它们具备越来

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