作者：马少梅,徐开先 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》1989年第01期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS1989010030 DOC编号：DOCYBJS1989010039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了美国霍尼韦尔公司SSED的基本情况；介绍了扩散硅力敏传感器Class41型的基本参数和制备工艺；还介绍了智能传感器ST3000的制备工艺及在设计、性能方面与Class41型传感器的比较；由此提出对发展我国扩散硅力敏传感器的看法。

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