作者：陈祖耀,张酣,朱朝晖,钱逸泰,潘作新 单位：中国仪器仪表学会 出版：《化学传感器》1988年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHXCH1988020060 DOC编号：DOCHXCH1988020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文报导采用典型的微电子学工艺一丝网漏印法制备以SnO_2为基的厚膜气体传感器。研究了不同掺杂剂和玻璃料对厚膜气敏材料性能的影响，结果显示ZrO_2掺杂有助于提高厚膜气体传感器对一氧化碳和乙醇的选择性，而且气体传感元件的厚膜工艺设备筒单，便于生产。

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