作者：陈庆贵,邬华 单位：上海市电子学会;上海市通信学会 出版：《》 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZJS1987090090 DOC编号：DOCDZJS1987090099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 力敏器件，主要是指用来测量力、压力、速度、加速度、位移、振动等物理量的敏感器件.因这些测量都与机械应力相关，所以通称为力敏器件，并把封装成为一个整体的称为力敏传感器. 人们对力敏器件的研究已有悠久的历史，经过几十年的发展，已奠定了雄厚的技术和工业基础.但随着近几年现代信息科学的迅猛发展，特别是大规模和超大规模集成电路的发展以及微处理机的问世，原有

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