《硅四端型膜片式压力传感器的优化设计与分析》PDF+DOC
作者:李乃平,刘三清,应建华
单位:华中科技大学
出版:《华中科技大学学报(自然科学版)》1989年第03期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFHZLG1989030110
DOC编号:DOCHZLG1989030119
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本文从理论上分析了硅剪切压阻系数的择优取向,以及在矩形、方形和圆形弹性膜片上欲获得较大剪应力,电阻条的布局原则。利用本文提供的方法,对某些膜片上的四端应变电阻所进行的布局分析与Kanda用有限差分法计算出来的布局结果基本一致。文中还提出了膜片上一些新的布局,供设计者选用。
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