《石英晶体动态压力传感器》PDF+DOC

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5. 《硅光学压力传感器》PDF+DOC 1.前言虽然已有文献描述了多种形式的硅压力传感器，且其中一些已经大量生产，但新型的压力传感器仍在开发，其中尤以硅光纤压力传感器扮演了重要的角色。一种薄硅薄有良好的机械性能，当加上气压或液压时可以重复弯曲，薄的位移可以通过图1所示的光强测量系统来测定。...
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