《半导体场效晶体管型pCO_2传感器研究》PDF+DOC
作者:张福海,牛文成
单位:中国微米纳米技术学会;东南大学
出版:《传感技术学报》1989年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGJS1989040020
DOC编号:DOCCGJS1989040029
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本文对采用氢离子敏感场效应晶体管制作场效应晶体管型pCO_2传感器进行了初步探讨。从理论上分析了其敏感机理、稳定性、响应速度及传感器设计原则,获得了令人满意的实验结果。
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