作者： 单位：复旦大学 出版：《复旦学报(自然科学版)》1986年第03期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFFDXB1986030180 DOC编号：DOCFDXB1986030189 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 传感器在自动控制和高精度测量中是必不可少的敏感元件，其中压力传感器是使用最广泛的传感器之一，受到人们的普遍重视.半导体微电子学和计算机技术的发展，为传感器向半导体化发展提供了良好条件.硅压阻式传感器是半导体传感器中历史较久的一

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