作者：祝沪锦 单位：成都工具研究所 出版：《工具技术》1988年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGJJS1988100210 DOC编号：DOCGJJS1988100219 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为了更有效地运用超精技术，作者提出了一种具有纳米分辨率的光电位移传感器的设计方案。该传感器是以高灵敏地检测某一具体位置的光强变化量，就可确定其位移大小为设计出发点的。通过将差动原理运用于传统的设计中，提高了信噪比，稳定了热漂移。该传感器具有以下显著特点：非接触测量，0.5nm的高分辨率，在30μm的工作范围内，其线性度不大于5%，稳定性能良好，对于特定的研究场合，漂移为20秒1nm。

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