《半导体压力传感器》PDF+DOC

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2. 《半导体高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍多晶硅压力传感器，由于采用二氧化硅介质膜作应变电阻之间的隔离，因而提高了传感器的工作温度。实验表明，该类传感器具有灵敏度高、精度高、温度特性好、工作温限高等特点。...
3. 《扩散硅压力传感器》PDF+DOC 扩散硅压力传感器是利用半导体单晶硅的压阻原理制成的压力传感器，具有精度高、尺寸小，长期稳定性好等优点，广泛用于流体压力、液位和流量的测量。本文较通俗的介绍了这类传感器的工作原理、国内外发展、技术性能和有关应用方面的知识.可帮助非本专业的同志了解并较好的选用这类传感器。...
4. 《半导体压力传感器的开发动向》PDF+DOC 近几年来，随着具有微型传感器特征的硅IC 制造技术的迅速发展，以硅作衬底材料的扩散型压力传感器以及把传感器和信号处理回路制造在同一硅片上的集成化压力传感器的开发工作进行得非常活跃。单晶硅不仅是优良的 IC 衬底材料，而且也是机械器件的优良材料，这是因为它具有以...
5. 《半导体压力传感器电路》PDF+DOC 这里介绍的半导体压力传感器(FPM-05G)具有小型、轻量、精度高的特点。半导体压力传感器利用了硅的压阻效应。在硅晶片上扩散形成电阻层，作成硅膜片，从而提高了压力灵敏度。将扩散电阻层组合成惠斯通电桥，然后将压力转换成电信号再进行处理。...
6. 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC 1.前言硅片压力传感器是基于压敏电阻效应把所加流体压力转换为电信号。典型的是由薄的硅片和将杂质扩散到片上而制成的压敏电阻组成。对于这种型式的传感器，硅不仅用作扩散电阻的基底而且也是弹性材料。因为硅...
7. 《半导体压力/差压变送器发展动向》PDF+DOC 一、引言在电子式差压变送器中，以往主要采用力平衡式，后来又出现了位移平衡式和微位移式(如电容式差压变送器)。目前，力平衡式已逐渐被直接变换式所取代，实践证明直接变换式大大优于力平衡式。近几年来，随着 IC 技术的迅速发展和基于压阻效应的半导体敏感元件的日益成熟，...
8. 《压力传感器新工艺及其动向》PDF+DOC 一、前言 硅压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的一种新型压力传感器。这种压阻效应早在三四十年代已被发现，但由于涉及到各种技术问题，特别是半导体工艺和集成电路工艺问题所以一直得不到发展，到了航空测试设备发展受到传感器影响时，这一问题又引起国际航空界人士的重视。此后，人们对半导体锗和硅的...
9. 《单晶硅微压传感器的研制》PDF+DOC 风洞测压及实现自动检测、自动控制，急需提供高精度、测量微压的压力传感器。本文介绍一种利用单晶硅压阻效应研制成的微压传感器。其特点是精度高、灵敏度高，适用于对不同参考压力的测量。文中简介传感器的工作原理、技术指标，着重讨论微压传感器的设计、工艺特点。...
10. 《基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器》PDF+DOC 利用单晶硅的压阻效应原理，采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构，产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点，可以广泛用于石油、冶金、化工、航空......