作者：杨谨福 单位：中国有色金属学会;有研科技集团有限公司 出版：《稀有金属》1986年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZXJS1986010050 DOC编号：DOCZXJS1986010059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 称为硅膜片器件的新型压力传感器，对工业生产过程的测试带来新的途径。这种器件的精确性、可靠性都很高，价格也低廉。 硅膜片传感器售价低廉的原因是其制备过程和所用设备都与集成电路的制备相结合。就集成电路而言，硅膜片传感器能提供同样规模的经济效益。

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