作者：范正田 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1985年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB1985010150 DOC编号：DOCZYQB1985010159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 日立制作所研制出一种小型、高精度的集成(IC)型压力传感器。该传感器利用硅的压阻效应原理，并以独特的温度补偿方式改进了输出随温度而变化的不足。该传感器约3毫米见方。在一块厚2毫米的硅基座上，用溅射的硼硅酸玻璃膜，将厚度为250微米的硅片焊牢，并在此硅片中央的膜片上，作四个检测压力的电阻。其最大

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