作者：关定华 单位：中国物理学会;中国科学院物理研究所 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWLZZ1989020030 DOC编号：DOCWLZZ1989020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《集成智能传感器:智能社会的五官》PDF+DOC2017年第04期 刘泽文 《带质量块硅悬臂梁加速度传感器的特殊工艺》PDF+DOC1994年第01期 张炎,林鸿溢 《智能传感器技术及相关工艺的研究进展》PDF+DOC2002年第04期 李守智,田敬民 《智能集成传感器系统的研究进展》PDF+DOC2003年第05期 周再发,秦明,张中平,黄庆安 《一种新型灵敏度可调式光纤光栅传感器》PDF+DOC2012年第03期 肖伟新,黄锡山,梁财春,胡义华 《网络化智能传感器技术发展浅析》PDF+DOC2008年第06期 王颖,刘洪 《八梁硅微加速度传感器横向灵敏度的研究》PDF+DOC2008年第01期 范波,熊继军,郭涛,毛海央,王敏 《传感器——信息时代的电子感官》PDF+DOC 李秀娟 《航空发动机智能温度传感器的设计》PDF+DOC2006年第17期 魏铁涛,王甲,曹克强 《基于啁啾光纤布拉格光栅的流速传感器》PDF+DOC2013年第09期 杨淑连,盛翠霞,魏芹芹,何建廷,宿元斌,申晋

    • 木文介绍当前敏感材料和固态传感器发展的情况．新型敏感材料和新工艺的出现，使传感器不断趋向于微型化、智能化，而且性能也愈来愈好．固态传感器是当前主要发展方向．文中介绍了半导体传感器、固体陶瓷传感器、功能有机薄膜传感器、光纤传感器、表面波传感器和复合敏感材料传感器等方面的发展．在半导体传感器中着重介绍当前新兴的微机械加工技术和利用微机械加工技术及大规模集成电路技术发展出的智能传感器．

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