作者：魏祥毓,吴福贵 单位：北京化工大学 出版：《北京化工大学学报(自然科学版)》1988年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBJHY1988030090 DOC编号：DOCBJHY1988030099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC2000年第03期 《硅压力传感器研究现状》PDF+DOC1999年第06期 王丰 《耐腐蚀液位变送器》PDF+DOC1996年第04期 徐广孝,孙心男,张阳,徐广忠 《硅—兰宝石压力传感器及应用》PDF+DOC 孙玉凤 ,罗颖 ,王贵臣 ,孙宇虹 《研制高温半导体力敏传感器的几种途径》PDF+DOC1987年第02期 张家慰,黄明程 《压阻式集成压力传感器》PDF+DOC1986年第06期 王振中 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC1989年第01期 T.Ishihara,何大安 《国外电容式集成压力传感器简介》PDF+DOC1983年第04期 徐清发 《油田测井用压力传感器的研制》PDF+DOC2004年第02期 赵毅强,姚素英,张生才,赵红,曲宏伟 《医用压力传感器原理及其应用》PDF+DOC2001年第06期 谢东

    • 硅-兰宝石集成压力传感器是一种无隔离结的固态压阻式传感器，它具有耐高温，耐腐蚀，抗辐射等许多硅集成压力传感器所无法比拟的优点。本论文在简要分析了硅-兰宝石压力传感器原理的基础上，就宝石杯的加工，P型硅膜的外延，及敏感桥路制作的重要关键工艺进行了较详尽的探讨、分析，并分别给出了相应的解决方法。此外，还就传感器的结构设计进行了扼要的探讨，并予以解决。本论文为硅-兰宝石压力传感器的研制、开发、应用提供较全面的基础。

    📙 相关资料

    1. 《集成微机械传感器的最新进展》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)的迅速发展改变了设计者观察硅基微机械部件的方法。将这些结构同调整和处理电路、校准存储、与外界接口等结合起来的种种努力，现已到了收获季节。集成更多的片上功能已获得部分成功，显示这种想法的商业可行性。有趣的是，一些设计者已在致力于下一代集成硅传感器，使最新...
    2. 《硅压力传感器研究现状》PDF+DOC 论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景...
    3. 《耐腐蚀液位变送器》PDF+DOC 本文主要论述了耐腐蚀传感器在石油、化工部门的具体应用，并从工作原理、结构设计、稳定性考核以及测试等方面介绍了传感器。...
    4. 《硅—兰宝石压力传感器及应用》PDF+DOC 介绍了一种具有灵敏度高、频响高、精度高、使用范围宽等性能十分优良的新型硅—兰宝石(SOS)压力传感器。目前，该传感器已在许多领域、环境，特别在恶劣环境下得到了广泛应用，深受用户欢迎。...
    5. 《研制高温半导体力敏传感器的几种途径》PDF+DOC 本文介绍了SOS(兰宝石上生长硅单晶)传感器，多晶硅阻传感器以及SOI(绝缘衬底上生长硅)压阻传感器三种可以应用在高温的半导体力敏传感器的结构和制造工艺，着重介绍并分析比较了国内外目前生长SOI材科的五种方法以及用它制造压阻式传感器的几个特殊问题。...
    6. 《压阻式集成压力传感器》PDF+DOC 一、引言在许多新的领域里，微机控制的仪器仪表和系统被广泛应用。这些系统一般由一个或多个传感器构成，传感器的低电平输出信号先要通过信号调节电路放大，再传送到远距离的微机去处理或控制。硅传感器技术的发展，已能将传感器和信号调节电路合并在一起，成为一个集成传感器。硅压阻式集成压力传感器由Bicking设计......
    7. 《CMOS集成硅压力传感器》PDF+DOC 新型的CMOS集成硅膜压力传感器由一个含四个压阻元件的电桥电路，一个放大器和一个新设计的能抑制电源电压变化和温度漂移的激励电源电路组成。敏感元件用自准直双元硅门CMOS工艺技术制得。方形的硅膜片由异向腐蚀剂N_2H_4&#183；H_2O经腐蚀加工而成。在0～70℃范围内，灵敏度和偏置电压的......
    8. 《国外电容式集成压力传感器简介》PDF+DOC 本文简要介绍了一种用集成电路工艺制造的新型电容式集成压力传感器的工作原理、设计、工艺及主要性能。这种传感器测量灵敏度比压阻式传感器约提高了一个数量级，更重要的是降低了温度灵敏度，减少了温度漂移。...
    9. 《油田测井用压力传感器的研制》PDF+DOC 油田测井用压力传感器在温度、量程和封装等方面有着特殊的要求 ，我们提出了一种新型多晶硅压力传感器 ，其工作温度高 (- 2 0～ 2 2 0&#176；C) ，压力量程宽...
    10. 《医用压力传感器原理及其应用》PDF+DOC 本文阐述了一种作为医用压力传感器的固态压阻式传感器的基本原理以及在医疗测量仪器设备中的应用和使用中的注意事宜 ，目的在于提高对医用传感器的认识 ，更好地利用高科技为医疗装备的发展服务...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。