作者：查贵根 单位：中国电子科技集团第四十五研究所 出版：《电子工业专用设备》1987年第01期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDGZS1987010010 DOC编号：DOCDGZS1987010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着LSI的发展，对器件的可靠性要求越来越高，气密封装的器件内部湿度监测需要体积小、稳定性高、响应范围宽的湿度传感器及湿度仪。 中科院上海冶金研究所于86年底对Si—MOS电容湿度传感器和CH电容湿度仪通过技术鉴定。与会专家一致认为，主要性能已达到设计要求，填补了国内空白，其性能与国外同类传感器相当，为我国电子工业的可靠性检测，提供了有效手段。 Si—MOS电容湿度传感器的几何尺寸为2&#215；1.5&#215；0.3mm，有效工作面积1&#215；1mm~2，可封入各种器件的管壳中。气体温度从0.5ppmv到300ppmv时，响应时间3秒，反向减湿时间≤7秒。

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