作者：李东研,Per.A.Ohlckers,C.D.Fung,W.H.Ko 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第Z1期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987Z11540 DOC编号：DOCCGQJ1987Z11549 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《工业变送器用75系列扩散硅压力传感器》PDF+DOC2000年第02期 李妍君,李颖,吴丁民 《一种多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC1998年第06期 张荣,曲宏伟,王涌萍,阎富兰,崔金标,田莉萍,张维新 《压力传感器的芯片封装技术》PDF+DOC1998年第02期 孙以材,范兆书,常志宏,沈今楷,高振斌,杨瑞霞 《多晶硅压力传感器》PDF+DOC1996年第03期 张维新,毛赣如,姚素英,曲宏伟 《油田测井用压力传感器的研制》PDF+DOC2004年第02期 赵毅强,姚素英,张生才,赵红,曲宏伟 《多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿》PDF+DOC2004年第01期 庞科,张生才,姚素英,张为 《高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术》PDF+DOC2002年第02期 曲宏伟,姚素英,张生才,赵毅强,张为 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC2009年第09期 王健,揣荣岩,何晓宇,刘伟,张大为 《双限气压监测电路的设计》PDF+DOC2007年第23期 富侠,王双,李晓斌 《超小型压力传感器——半导体应变片的应用》PDF+DOC1973年第02期 TAKEWOCHIKU,ISEMIIGARASHI,黄美超

    • 当封装压力传感器时，由于传感器芯片和管壳材料之间热膨胀系数的差别，在封接部位引入应力。这一封装应力引起传感器芯片硅膜

    📙 相关资料

    1. 《工业变送器用75系列扩散硅压力传感器》PDF+DOC 介绍了工业变送器用 75系列扩散硅压力传感器。其整体结构为全固态结构 ；其硅膜片结构分别为C型、E型和EI型三种形式 ；测量范围为 0 6kPa～ 5 0MPa；使用温区为 - 3...
    2. 《一种多晶硅高温压力传感器》PDF+DOC 制作压力传感器时，在二氧化硅层上淀积多晶硅膜，既可利用硅优良的机械特性，又可保证压敏电阻与衬底间具有良好的绝缘性，由此可大大提高器件的温度特性。介绍了一种多晶硅压力传感器的原理和设计。实验结果表明，这类传感器具有灵敏度好、精度高等特点，电路工作范围为０～２５０&#176；Ｃ，且具有良好的温度......
    3. 《压力传感器的芯片封装技术》PDF+DOC 对压力传感器芯片的各种封装技术作了比较和讨论，指出它们的优缺点和适用场合。还对各种封接键合材料的特性作了概括。...
    4. 《多晶硅压力传感器》PDF+DOC 研制一种多晶硅压力传感器．它采用一氧化硅介质膜隔离代替ｐ－ｎ结隔离，提高了工作温度；通过控制掺杂浓度，改善了温度特性．实验表明，该传感器灵敏度高，工作温限高，温度漂移小．...
    5. 《油田测井用压力传感器的研制》PDF+DOC 油田测井用压力传感器在温度、量程和封装等方面有着特殊的要求 ，我们提出了一种新型多晶硅压力传感器 ，其工作温度高 (- 2 0～ 2 2 0&#176；C) ，压力量程宽...
    6. 《多晶硅高温压力传感器的芯片内温度补偿》PDF+DOC 提出了一种新的改善传感器温度特性的方法。通过在压力传感器芯片上集成多晶硅电阻网络与温度传感器 ，借助传感器信号处理单元 ，可以方便地实现对灵敏度系数的补偿。经过补偿 ，传感器的零点温漂达到 1&#215；10 - 4/℃ ，灵敏度温漂低于 - 2&#215；...
    7. 《高温压力传感器温度特性的芯片内补偿技术》PDF+DOC 本文在分析、测试多晶硅高温压力传感器温度特性的基础上 ，提出了一种新的改善传感器温度特性的措施。通过在压力传感器芯片上集成低阻值的多晶硅电阻网络与温度传感器 ，不仅可以很好的补偿传感器的零点温漂 ，也可以借助传感器信号处理单元 ，方便地实现对灵敏度温度系数的补偿。经补偿 ，传感器的零点温漂达到 1&......
    8. 《多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器》PDF+DOC 多晶硅纳米薄膜具有优越的应变灵敏特性和稳定的温度特性。为了使这种良好的压阻特性得到实际应用，文中给出了多晶硅纳米薄膜压阻式压力传感器的设计方法。根据多晶硅纳米薄膜压阻特性和硅杯腐蚀技术条件确定弹性膜片结构，并采用有限元分析方法对弹性膜片尺寸以及应变电阻分布进行了优化。依据优化设计结果试制了压力传感器......
    9. 《双限气压监测电路的设计》PDF+DOC 本文介绍设计一种，由摩托罗拉公司的MPX系列硅压阻式压力传感器和MAX6459集成芯片构成，用于气动式钞票记数机中气压的监测。其电路简单，工作可靠，使用方便。...
    10. 《超小型压力传感器——半导体应变片的应用》PDF+DOC 叙述一种新的压敏面积小于1/2mm~2的超小型压力传感器的工作原理，它的结构、特性和线路的温度补偿法及其应用。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。