作者：骆志强,陆淑伟,黄金彪,冯耀兰,童勤义,简耀光 单位：南京电子器件研究所(中电科技集团公司第55所) 出版：《固体电子学研究与进展》1988年第04期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGTDZ1988040370 DOC编号：DOCGTDZ1988040379 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《多晶硅桥在集成传感器中的多功能性研究》PDF+DOC1989年第01期 冯耀兰,骆志强,陆淑伟 《电磁流量计在工程中的应用》PDF+DOC2001年第03期 范红卫,江增延,黄良荣 《Smart Sensor与MEMS》PDF+DOC2000年第05期 向勇,李玲霞,胡明,谢道华 《传感器的发展趋势和世界传感器市场的现状》PDF+DOC1995年第02期 刘兆琦 《一种低压电容式压力—电传感器》PDF+DOC1986年第01期 PAULE. THOMA. ROSEMARY,STEWART. JEANNINE,O. COLLA,邱嗣鑫,裴锡安 《硅电容式压力传感器》PDF+DOC2005年第02期 王中文,王丽娟 《生物传感器在环境污染物检测中的应用》PDF+DOC2004年第01期 李彦文,杨仁斌,郭正元 《压阻式流速传感器研究》PDF+DOC2004年第05期 卢晓敏,金建东,董宇红,赵异凡 《振动筒式压力传感器》PDF+DOC2004年第03期 唐吉祥,沈云山,崔嵬 《QCM传感器差频信号的获取》PDF+DOC2009年第06期 徐晶,骆英

    • 本研究将多晶硅桥结构作为多功能集成传感器的敏感元件，可用于测量流速、流向、温度，光学量等等，其工艺简单，性能优良，兼容性强，设计灵活，为解决传感器的集成化、多功能化，实现微机械加工技术提供了有效的途径。水文介绍了主要工作原理，给出了多晶硅桥制造的工艺条件，理论分析与实验结果一致。

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