作者：吴冲若 单位：中国电子科技集团公司第48研究所 出版：《微细加工技术》1993年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFWXJS1993010020 DOC编号：DOCWXJS1993010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微系统集成技术研究的动向》PDF+DOC1998年第04期 钟先信,李建蜀,肖沙里,徐涛,朱维安,缪秀娥 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC1997年第03期 刘靖,石庚辰 《微机械技术发展现状》PDF+DOC1997年第06期 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英 《背面引线压力／氢离子敏传感器的研究》PDF+DOC1995年第03期 牛蒙年,林崴,袁 《微机械电子学的现状》PDF+DOC1992年第01期 李栓庆 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC2004年第07期 余丹铭,梁利华,许杨剑 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC2002年第01期 赵晓峰,温殿忠 《浅论MEMS技术发展趋势与应用》PDF+DOC2010年第35期 张勇,张剑,熊国宏 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC2007年第01期 刘成刚 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC2007年第05期 荣烈润

    • 微机械加工技术是发展微型固态集成传感器，微执行器和微机械构件的一种关键技术，它以硅作为基本材料，集合了精密腐蚀、薄膜生长、硅—绝缘体和硅—硅的键合技术、层间连接技术以及其它集成电路的典型工艺去制造各种三维以硅为基础的微机械和微型器件。本文重点介绍微机械加工的几种关键技术和我们的主要研究结果。

    📙 相关资料

    1. 《微系统集成技术研究的动向》PDF+DOC 在微电子、微机械和微光学的基础上，集成传感器、执行器和信号处理单元于一体的微系统技术，是现代技术发展的一个新动向。微系统技术在微传感器、微执行器、微光学和专用集成微型仪器等方面有较大发展。微系统在一些工业中获得应用。...
    2. 《微机电系统(MEMS)技术及在引信中的应用》PDF+DOC 对微机电系统技术的现状及其发展进行了介绍，并探讨了微机电系统技术在引信中的应用...
    3. 《微机械技术发展现状》PDF+DOC 介绍了微／纳米技术和微型机械技术这一新兴学科的重要意义、主要技术内容和当前国内外研究发展现状。...
    4. 《背面引线压力／氢离子敏传感器的研究》PDF+DOC 报道了一种含微参比电极的差分结构，并可与其它敏感元和信号处理电路完全隔离的背面引线氢离子敏感场效应（ｐＨ－ＩＳＦＥＴ）新结构。基于硅的固相键合技术和硅微机械加工技术以及常规Ｎ阱ＭＯＳ工艺，研制成集成压力／ｐＨ－ＩＳＦＥＴ传感器，设计制作了高稳定的可调芯片自恒温系统，经实际工艺流水制成了样管，初步的测......
    5. 《微机械电子学的现状》PDF+DOC 本文先介绍了微机械电子学的概况，接着介绍了几种典型的微型机械、制作技术和微型机械用材料，最后探讨了微机械电子学的研制现状和应用。...
    6. 《微电子机械技术的研究和发展趋势》PDF+DOC MEMS技术作为一门新兴的技术，越来越受到世界各国的重视。文中主要阐述了MEMS的研制背景、加工工艺、现状和发展趋势，并对MEMS技术面临的问题进行了简要分析。...
    7. 《MEMS研究与发展前景》PDF+DOC 在阐述ＭＥＭＳ技术的基本概念、意义、传感ＭＥＭＳ的基本模型和国内外研究状况的基础上，重点阐述 ＭＥＭＳ技术的加工工艺及在未来的发展景前景．...
    8. 《浅论MEMS技术发展趋势与应用》PDF+DOC MEMS技术是一门新兴的技术，是多种学科交叉融合的前沿高技术，近年来越来越受到世界各国的重视。本文简要介绍了MEMS的基本概念、产生发展过程、技术特点、制造工艺、及主要应用。...
    9. 《MEMS技术的发展与应用》PDF+DOC 介绍了MEMS的基本概念、系统结构、技术特点，并结合MEMS的发展史和制造技术，对MEMS的应用领域作了阐述。...
    10. 《微机械加工技术的现状及其发展趋势(上)》PDF+DOC 介绍了微机械加工技术的现状及其发展趋势。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。