《半导体超微粒子气敏膜的研究》PDF+DOC
作者:卢豫曾,蒋保运
单位:电子科技大学
出版:《电子科技大学学报》1990年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFDKDX1990040160
DOC编号:DOCDKDX1990040169
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用气相法成功地研制出了 SnO_2超微粒子气敏膜。研究了0.03乇到0.1乇范围内不同氧分压下制得的超微粒子薄膜的酒敏特性和湿敏特性与成膜工艺、工作温度等关系。
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