作者：秦绮雯,裘继红 单位：中国计量大学 出版：《中国计量大学学报》1992年第02期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGJL1992020060 DOC编号：DOCZGJL1992020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍了利用CCD 固体摄象传感器和386微机动态测量 F—P 多光束干涉条纹的方法，介绍了实现动态检测的原理和软件设计思想，利用此原理，提出了一种微小位移的高精度动态测量方法，采用无畸变摄象物镜和精密伺服系统，相应微小位移的测试精度可达3nm—6nm(约λ/100的数量级)。

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