作者：凌明芳 单位：北京真空电子技术研究所 出版：《真空电子技术》1988年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDJ1988040000 DOC编号：DOCZKDJ1988040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 具有良好机械和物理性能的硅(单晶)材料，正在逐渐成为大有发展前途的固体传感器材料。本文将综述硅材料的一些微细加工技术以及用这些方法制成的各类传感器的构造及其传感原理，此外还对硅微细加工的一个成功例子—集成型气体色谱分析系统作了简单介绍。

    📙 相关资料

    1. 《提高汽车性能的微加工传感器》PDF+DOC 提高汽车性能的微加工传感器最新的微加工技术造价低廉，而用这种技术制作的传感器却可使汽车安全得多Ｃｌｉｆｆｏｒｄ　Ｍｅｔｈ新一代的微加工传感器不仅使汽车驾驶起来更加安全，而且也可降低制造费用。微（机械）加工（ｍｉｃｒｏｍａｃｈｉｎｉｎｇ）决不是一种新技..。...
    2. 《多孔硅微细加工及其在微型传感器中的应用(二)》PDF+DOC 多孔硅微细加工的压阻压力传感器 微型压力传感器是在60年代末出现的，微细加工技术就是从此开始发展的。上面所述的各向异性化学腐蚀、电化学腐蚀和硅片直接融结等都已用来制造微型压阻压力传感器。微型压阻压力传感器尚需解决的问题是制造工艺太复杂、生产成本太高以及不易制造高灵敏的微压传感器等。针对这种情况，本文...
    3. 《智能式压阻压力传感器的设计》PDF+DOC 智能传感器(IntegratedSmsrt)是传感器与微处理器的结合、兼有信息检测与信息处理功能的传感器。在对压阻压力传感器进行智能处理以后，传感器具有自校正功能，能对外界信息进行检测、判断和自诊断；具有数据存储、记忆和信息处理功能；具有随机整定和自适应能力，还具有与主机相互对话和自行决策处理功能。......
    4. 《低温测量中压力传感器的改进与标定》PDF+DOC 为适应低温测试，文章介绍了对普通压阻压力传感器的结构改进；并对改进后的传感器的性能进行了低温标定，得到其零点输出与温度的关系以及不同温度下压力传感器的输出特性曲线。图4。...
    5. 《新型高灵敏度动态压力传感器——镱压阻传感器》PDF+DOC 本文给出了采用国产稀土金属元素镱(Yb，Ytterbium)作为动态压力传感器的实验结果，实验是分别利用炸药爆炸加载装置和在本实验室的四万焦耳电炮装置上进行的。与锰铜压阻传感器、碳压阻传感器在相应装置上所得数据作了初步比较。结果表明，镱作为动态压力传感器比锰铜和碳压阻传感器灵敏度高，使用的压力范围可......
    6. 《文摘》PDF+DOC Vol.31，no.1，P.3—7(1982)，(德文) 本文介绍了生物传感器和工业传感器的产量和这两种传感器的产量比。作者根据微电子学应用的不断扩大，以图解式描...
    7. 《压力传感器及其应用实例》PDF+DOC 本文以摩托罗拉公司的压力传感器为例，所涉及的概念适用于各种压力传感器的设计应用。...
    8. 《硅压阻式压力传感器的现场可编程自动补偿技术》PDF+DOC 为了提高硅压阻式压力传感器温度性能指标，并实现快速补偿，通过以ADμC816微处理器为核心设计了智能压力传感器，提出了传感器在宽温区下测量误差的自动补偿办法，通过对IC sensor系列压力传感器的应用，使其温度性能提高了1~2个数量级。...
    9. 《SOI高温压力传感器的研究》PDF+DOC 介绍了SOI压力传感器的制作工艺，并且通过有限元软件对传感器输出特性进行模拟，模拟结果与实际测得结果是相符的。对SOI压力传感器测量结果表明，当温度增加到220℃传感器仍然能保持很好线性。另外对SOI压力传感器和多晶硅压力传感器进行比较，发现单晶硅SOI高温压力传感器灵敏度比多晶硅高温压力传感器灵敏......
    10. 《硅压阻MAP传感器的温度补偿校准》PDF+DOC 介绍如何利用Maxim的信号调理器MAX1452/MAX1455对硅压阻传感器进行温度补偿校准，使其满足低排放汽车对进气歧管绝对压力(MAP)传感器的要求。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。