《GLI-100型量块激光干涉仪》PDF+DOC
作者:王承钢,汪德宝,杨自本,叶孝佑,翟富华
单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心
出版:《中国检验检测》1993年第05期
页数:8页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFXDJL1993050020
DOC编号:DOCXDJL1993050029
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本文所介绍的是最近研制成功的GLI—100型量块激光干涉仪,主要用激光波长直接测量高精度量块的长度,又可免去传统方法测量时必须把量块与辅助面相研合的麻烦,本仪器由光、机、电、电感、电子、激光和环境参数(温度、气压、湿度)测量系统等各部分组成,集当代一些高新技术于一体而设计研制成功的自动化、智能化、原理新颖的光波干涉仪。
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