作者： 单位：中国科学技术信息研究所;科学技术文献出版社 出版：《》 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQQKL1993110190 DOC编号：DOCQQKL1993110199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 93-029 海鸥-400型超高真空表面分析装置真空室：装有造成纯真空条件的磁离子泵，极限真空2—5&#215；10~(-10)毫米水银柱；磁离子泵抽气速度400升/秒；不锈钢罩直径250mm；快速阀(同抽气系统完全隔绝)直径150mm；超高真空样品控制器，X轴和Y轴移动&#177；10mm(&#177；0.05mm)Z轴&#177；20mm(&#177；0.05mm)，绕Z轴转动360&#176；(&#177；0.2&#176；)。

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