《透镜间隔的高精度在线测量》PDF+DOC
作者:曹新宇,徐守德,黄惠金,夏国鑫
单位:中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所
出版:《光学仪器》1992年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGXYQ1992030060
DOC编号:DOCGXYQ1992030069
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介绍了一种物镜透镜间隔非接触式测量系统。适用于平场复消色差物镜等高性能物镜的生产。文中详细叙述了测量原理、结构和精度分析。最大测量误差不超过±;2μm。
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