作者：沈桂芬,张九惠 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》1993年第02期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS1993020080 DOC编号：DOCCGJS1993020089 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 本文在大量实验的基础上，对微压传感器中硅杯形成的各向异性腐蚀技术的机理进行了详细分析，提出了几种切实可行的膜厚控制方法与正面图形的保护方法.对实验结果进行了分析与讨论，提出有价值的结论。

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