作者：李学丹,万英超 单位：中国航天科技集团公司第五研究院510研究所 出版：《真空与低温》1992年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKDW1992010130 DOC编号：DOCZKDW1992010139 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 薄膜是不同于其它物态(气态、液态、固态和等离子态)的一种凝聚态，有人称之谓物质的第五态。顾名思义，薄膜就是薄层材料。它可以理解为气体薄膜，如吸附在固体表面的气体薄层；也可理解为液体薄膜，如附着在液体或固体表面的油膜。这里所指的薄膜是固体薄膜，即使是固体薄膜，也可分为薄膜单体和附着在某种基体上的另一种材料的固体薄膜，这里所说的薄膜属后一种。它可以是在固体表面上镀上一层与基体材料不同的薄层材料；也可以是利用固体本身生成一层与基体不同的材料。至于薄膜的厚度应为多少，这无严格的定义，通常是指厚度为几微米以下的薄层。薄膜的基体材料有绝缘体，有玻璃、陶瓷等。也有半导体，如硅、锗等。也有各种金属

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