作者：朱秀文 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1987年第01期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1987010020 DOC编号：DOCCGQJ1987010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 超大规模集成电路技术在传感制造中的应用，产生了高度密集的传感器阵列。这样的阵列可以用来获得被测量的一维或两维的信息。然而其设计有一系列的特殊问题，包括适当的集成水平，传感器的线性和均匀性等。木文将介绍目前最新发展起来的几种集成传感器的阵列的制造技术，工作原理，性能特征及读出电路的设计等。这些阵列主要有电容式和压阻式触觉传感器阵列，硅热电堆红外敏感阵列，集成P—n结温度计阵列，集成多通道记录阵列等。在此基础上总结集成传感器阵列设计中的若干问题。

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