作者:Norman Bobnoff,田武 单位:中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版:《中国检验检测》1993年第03期 页数:5页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXDJL1993030060 DOC编号:DOCXDJL1993030069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 1.前言基于平面镜干涉仪的坐标测量系统广泛地应用于计算及为半导体制造业而设计的平板印刷装置。平面镜干涉仪的优先选用是由于其双功能造成的,它既可以作为直边导向轴,也可以作为测量距离和角度的镜靶。它允许在 x-y 面上密切结合测量图形,并且比仅根据反射镜靶

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