作者：邹炳易 单位：中国科学技术信息研究所;科学技术文献出版社 出版：《》 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFQQKL1991110040 DOC编号：DOCQQKL1991110049 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微系统技术是芯片制造技术高度发展下的产物。由于硅的抗拉强度和弹性与钢类似，而且更轻，更耐高温、耐腐蚀，于是人们利用微电子技术中成熟的光刻技术，在标准硅片上刻制出微型机械(电机、齿轮、泵、阀门等)、微型(压力、加速度等)传感器、微型机械手、微型激光器等等，为人类未来的生活突然

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