作者：杨一德 单位：中国科学院上海技术物理研究所;中国光学学会 出版：《红外与毫米波学报》1992年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHWYH1992030140 DOC编号：DOCHWYH1992030149 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 讨论了金属扫描镜尺寸不稳定的原因和提高扫描镜尺寸稳定性的途径，并对金属扫描镜尺寸稳定化采用冷热循环方法进行处理。

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