《超微粒子气体传感器》PDF+DOC
作者:孙甬,韦春才
单位:沈阳工业大学
出版:《沈阳工业大学学报》1989年第02期
页数:10页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFSYGY1989020140
DOC编号:DOCSYGY1989020149
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本文叙述了超微粒子的基本概念及其性质,介绍了超微粒子气体敏感膜的制作方法和电特性,通过和一般半导体传感器的比较,指出了超微粒子传感器的优点。最后还给出了集成化超微粒子多功能传感器的结构模型和制作方法。
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