作者: 单位:西安电子科技大学 出版:《西安电子科技大学学报》1990年第04期 页数:1页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFXDKD1990040080 DOC编号:DOCXDKD1990040089 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 该课题是机电部电科院预研项目,采用PECVD法和APCVD法分别研制出性能优良的氧化铁酒敏材料和烟敏材料,与会专家们一致认为:1.采用了新的制备方法,改变了过去采用的烧结制备方法,因而有工艺简单、重复性好、适于批量生产、易与集成电路工艺兼容等特点;2.用PECVD法制备的酒敏材料灵敏度很高、选择性好、响应恢复时

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