作者：杨得全,范垂祯 单位：中国空间技术研究院 出版：《中国空间科学技术》1992年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGKJ1992030100 DOC编号：DOCZGKJ1992030109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • SiO_2/Ag薄膜系统是扫描辐射计内光路反射镜的主要组成部分。采用高分辨扫描俄歇微探针(SAM)和扫描电镜分析对SiO_2/Ag 薄膜系统失效进行了较为全面的分析研究。通过扫描电镜观察发现，失效的反射镜表面SiO_2薄膜上存在大量析出物，借助于SAM分析，表明这些析出物主要是银和铜，析出物表面伴随有硫化和氧化。SAM的深度剖面结果说明，有析出物存在的区域，各薄膜层中存在原子间的扩散。文章就反射镜中Ag、Cu、和O的扩散和穿透行为进行了讨论，认为SiO_2薄膜致密度较差是导致反射镜失效的主要原因之一。

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