作者：金田一,载丰 单位：中国计量科学研究院;中国合格评定国家认可中心 出版：《中国检验检测》1992年第03期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDJL1992030050 DOC编号：DOCXDJL1992030059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 一、前言激光位移计是利用激光以非接触方式测量对象物体的距离、尺寸、形状和振动等的仪器。近年来出现了一些简单的元器件可供利用，如用作光源的半导体激光器(LD)、用作光接收元件的光学位置检测器件(PSD)。PSD 是以亮点像的位置作为模拟信号而输出的半导体器

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