《超导磁传感器》PDF+DOC
作者:盛柏桢
单位:信息产业部南京电子器件研究所
出版:《光电子技术》1989年第02期
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGDJS1989020020
DOC编号:DOCGDJS1989020029
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日本夏普公司已开发钇系陶瓷超导传感器「M 型传感器」,并在1 mA 的电流下可检测10~(-4) 高斯的磁场。1987年发现钇系超导体在低磁场区域会有极大的电阻变化,继而指出高灵敏度超导磁传感器的可能性。根据喷射热解法,用厚膜形成技术和划片机,把厚膜制成锯齿状。采用把电流通路制成长形的器件形状,与以前的磁传感器相比,灵敏度提高10万倍(实验室水平提高100万倍)。超导磁传感器正向实用化方向前进。今后,采用光刻的薄膜形成技术,确立把电流通路制得更长的锯齿状制作技术,并探索含有铋系超导材料,全力开发10~(-7) 以上和SQUID 同等程度的高灵敏度超导传感器。
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