《氧化物半导体的表面过程与气敏机理》PDF+DOC
作者:徐毓龙,周晓华,曹全喜
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》1991年第06期
页数:7页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ1991060000
DOC编号:DOCCGQJ1991060009
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本文讨论了金属氧化物表面的气—固,气—气反应及其相关的电子过程。这是金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理的基础。在此基础上,定性和半定量地解释了许多实验事实。
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