《ICP-RF-2kW型等离子体光源》PDF+DOC
作者:夏义峰
单位:中国光学学会
出版:《光谱学与光谱分析》1990年第03期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFGUAN1990030180
DOC编号:DOCGUAN1990030189
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一九八七年十二月一日由河北省科委组织了ICP-RF-2KW高频等离子体光源的省级鉴定。鉴定会代表认为,该机一些重要技术指标均已达到国外八十年代同类商品仪器水平。这是在保定电子设备厂生产的ICP-D型自激式高频等离子体光源的基础上,吸收了国外同类仪器的技术特点,研制出一种新型他激式电感耦合高频等离子体光源。一、ICP-RF-2kW高频等离子体光源电路组成ICP-RF-2 kW高频等离子体光源的射频发生器主体与炬管箱从结构上分为两部
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