《简讯》PDF+DOC
作者：
单位：中国电子科技集团第四十四研究所
出版：《半导体光电》1990年第01期
页数：6页 （PDF与DOC格式可能不同）
PDF编号：PDFBDTG1990010140
DOC编号：DOCBDTG1990010149
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《20—80K低温压力传感器校准系统的研制》PDF+DOC2017年第04期 李星,赵珊珊,王东方
J901001 新型电热透明炉机电部第44研究所在研制普通电热透明炉的基础上，又成功地研制出符合特殊工艺要求的新型电热透明炉。该炉具有温区多、温差大、过渡区短、精度高的特点。该炉采用两台“DWK-703精密温度控制装置”控温，温控精度达±；1℃。该炉结构和炉内温度分布分别示于图1和图2。该电热透明炉很适用于Ⅱ-Ⅴ族和Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体的各种外延、扩散、合金和退火等。目前，该新型电热透明炉经用户试
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