作者：杨国光 单位：中国分析测试协会 出版：《现代科学仪器》1993年第01期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFXDYQ1993010010 DOC编号：DOCXDYQ1993010019 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文简介微器件及其集成系统的原理及发展近况，用以了解正在兴起的微细加工的概况，这是近代科学仪器的发展方向之一。

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