作者：秦明,黄庆安,吕世骥,张会珍 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》1993年第04期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ1993040000 DOC编号：DOCCGQJ1993040009 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发，详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。

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