《电容式触觉传感阵列单元的理论设计》PDF+DOC

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2. 《硅电容式触觉传感阵列及相关技术》PDF+DOC 从目前硅电容式触觉传感阵列的研究现状出发，详细分析了各种阵列单元结构、加工工艺、读出电路的设计和性能特征等。最后探讨了今后触觉传感阵列的研究趋向和发展前景。...
3. 《可拼接式全柔性电容触觉阵列传感器设计与实验》PDF+DOC 针对现有机器人触觉传感器存在可穿戴性与可移植性差、不易维护及扩展等缺点，提出了一种可用于机器人仿生皮肤的全柔性电容式触觉传感器，并设计成12&#215；12正方形触觉传感阵列和正六边形触觉模块两种可拼接式阵列结构.以炭黑填充硅橡胶作为电容式触觉传感器的弹性电介质，聚酰亚胺为柔性基体，有机硅导......
4. 《电容式柔性压力传感器的研究进展》PDF+DOC 为了分析电容式柔性压力传感器的传感机制和发展方向，首先介绍不同类型柔性压力传感器的工作原理，并且比较了不同类型压力传感器的灵敏度、柔性及稳定性等性能的优势与缺陷，介绍了电容式柔性压力传感器在人体运动及生命体征信号监测等方面的研究现状和发展趋势，分析了微结构、电极材料和复合介电层等对电容式柔性压力传感......
5. 《电容接近传感器的应用及最近的技术改进》PDF+DOC 本文先介绍电容接近传感器的主要应用，然后介绍近期的若干重要技术改进及其在解决困难场合应用方面的意义。...
6. 《梳齿的不平行对电容式微机械传感器可靠工作范围的影响》PDF+DOC 分析了梳齿电容式传感器梳齿极板间的不平行在三种电容驱动下 ，对传感器的可靠工作范围的影响 .结果表明梳齿电容在同样的电压驱动下 ，当电容极板间的倾斜角由 0 1&#176；变到 0 5&#176；时 ，单边电容结构和双边电容结构的可靠工作范围变为电容极板完全平行时的 0...
7. 《同面散射场电容式砂含水量传感器的研究》PDF+DOC 针对电容式砂含水量传感器的特殊结构，本文从同面散射场电容传感器的等效电容的分析出发，优化了电容极板的大小；使用有限元法分析了极板间距、极板对数以及极板结构对传感器灵敏度的影响；并对传感器的隔离板材料的介电常数选择问题进行了探讨。结果表明双电极小极板结构的普通陶瓷隔离的传感器结构尺寸小，灵敏度高。本研......
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9. 《一种新型CMOS电容式绝对压力传感器的设计》PDF+DOC 提出了一种新型的采用标准CMOS工艺结合MEMS后处理工艺加工的电容式绝对压力传感器.传感器结构部分是由导体/介质层/导体组成的可变电容器.电容的上下极板分别为CMOS工艺中的多晶硅栅和n阱硅，中间介质层为栅氧化层.在CMOS工艺加工完之后，利用选择性的体硅腐蚀、pn结自停止腐蚀以及阳极键合等MEM......
10. 《浮动电极式三维柔性电容触觉传感阵列设计》PDF+DOC 提出了一种能够同时实现z-向压力与x-y向剪切力测量的新型三维柔性电容触觉传感阵列，采用浮动电极式的传感阵列结构设计，分别制作了基于FPCB的感应电极层和基于PDMS的浮动电极层，将脆弱的接口电路加工在底部的感应电极层上，大幅提高传感阵列的挠曲刚度。所设计的柔性电容触觉传感阵列在x-y和z-方向上的......