作者：周兆英,叶雄英,李勇,江小宁 单位：机械工业部仪器仪表综合技术经济研究所;中国仪器仪表行业协会 出版：《中国仪器仪表》1993年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZYQB1993040070 DOC编号：DOCZYQB1993040079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微型机械加工技术、应用途径和发展方向的研究》PDF+DOC2000年第02期 李荣,罗庆生 《我国微型机械技术发展的新模式和新趋势》PDF+DOC2000年第05期 罗庆生,韩宝玲 《微机械技术发展现状》PDF+DOC1997年第06期 才海男,马秀兰,李鹏生,浦昭邦,周兆英 《微机械的制造、应用和发展》PDF+DOC1994年第03期 谢国章 《微机电系统技术进展》PDF+DOC2003年第05期 张西慧,梁春广 《微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究》PDF+DOC2002年第08期 徐小云 ,颜国正 ,丁国清 《微型运载系统构成原理的研究》PDF+DOC1996年第03期 崔天宏,王立鼎,吕琼莹 《微电子机械系统的研究现状》PDF+DOC1994年第02期 吴桂君,颐文琪 《微机械及其研究》PDF+DOC1993年第03期 徐锡林 《MEMS的应用及发展前景》PDF+DOC2003年第03期 刘虹,刘洁,杨立峰

    • 一、引言人类在进行宏观世界以及微小领域的研究开发中，对机电工具和设备，在解决高强度、大功率、大型化的同时，也提出了高精度、低耗能、小型化的要求。80年代后期，利用半导体集成电路工艺在硅片上制作的微传感器和微执行器的问世，引发了尺寸在毫米级以下的微型机械研究的兴起。1987年，加州大学伯克利分校研制出直径为60～120μm 的硅微静电马达，之后许多新的研究成果不断发表，微机器人的研究也进入日程。

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