《长光栅线位移数字测量系统》PDF+DOC
作者:邬纪泽
单位:中国仪器仪表协会上海光学仪器研究所
出版:《光学仪器》1992年第04期
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PDF编号:PDFGXYQ1992040080
DOC编号:DOCGXYQ1992040089
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,苏靖
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中科院光电技术研究所为满足我国机电一体化和传统机床改造的需要,先后开发了SX-5和SX-6两个系列长光栅线位移数字测量系统。该系统由长光栅线位移传感器和光栅数显表组成。主要技术数据:光栅:25线/mm和50线/mm,精度:±;2μm/m;标尺光栅同指示光栅间采用滚动摩擦,回程差:<;2μm;工作速度:60m/min;输出讯号双路正弦波或方波任选。数显表的最小分辨率:0.5μm,具有细分预置,D/R和mm/in转换,线性误差修正功
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